扫描电子显微镜 (CD‑SEM)

HITACHI S-9220扫描电子显微镜(SEM)

性能规格：

图像分辨率：3nm （30A） at 0.8kv 加速电压
加速电压范围：0.5kv 至 1.3kv
工作距离：固定
放大倍率范围：1 kx 至 300 kx
测量范围：0.1 至 2.0 u
重现性：3 nM
测量模式：全功能、多功能
吞吐量：45片/小时
SEM 图像：1kx 至 300kx，保证重现性 40kx ti 200kx
载物台位置控制：线性刻度反馈

系统配置：

目前配置为 200mm 晶圆尺寸
盒式接口（装载机单元）：
Asyst 集成 SMIF
MECS 机器人/Cntrl
Leybold Turbo 带控制器

载物台和检查单元：X，Y 行程范围：0 – 200mm

控制单元

系统软件：

主机： ： v12.41
SEM： 12.43
IPS： 12.40 （4500）
HV： 04.02
Stage： 01.07
Evac： 2.01
DSP： 11.10
WT： 4.05

支持选项：

缺陷检测
Mag Max X300k
SECE
自动 Vid
多点测量
保存到 Dos FD
边缘粗糙度
IP 读取
孔测量
SMIF
减少扫描
操作员访问
缺陷类型 KLA
图像增强
图像数据库
快速 AFC

MO 驱动器：640MB
热敏打印机
视频打印机
SECS/GEM 接口

真空隔离块和软管

动力装置
功率要求：208VAC，6kVA，1相，50A，频率60 Hz