全国服务咨询热线:

13544051612

当前位置:首页  >  产品中心  >  量测  >  电子束量测  >  CG 4100临界尺寸扫描电子显微镜

临界尺寸扫描电子显微镜

简要描述:HITACHI CG 4100是一种扫描电子显微镜(SEM),设计用于提供非常小的物体和粒子的详细3维图像。它具有模块化设计,允许使用一系列不同的检测器和级来定制配置。基本构型包括一个带电子枪的真空室和一个用于试样安装的舞台。

分辨率:1.8 nm
产量:42片/小时
MAM 时间:2.8 秒
级着陆精度:±1μm

  • 产品型号:CG 4100
  • 厂商性质:经销商
  • 更新日期:2024-09-23
  • 访  问  量:439

产品分类

CLASSIFICATION

相关文章

ARTICLES

详细介绍

HITACHI CG 4100临界尺寸扫描电子显微镜(CD-SEM)

分辨率:1.8 nm产量:42片/小时MAM 时间:2.8 秒级着陆精度:±1μm

Hitachi CG 4100 是一款关键尺寸扫描电子显微镜 (CD-SEM),专为半导体和纳米技术领域的高性能应用而设计。主要规格和功能包括:

  1. 分辨率:CG 4100 提供高分辨率成像功能,分辨率低至 1.8 纳米,这对于详细分析材料和半导体器件中的小特征至关重要。

  2. 吞吐量:该系统每小时可处理多达 42 片晶圆,适用于大批量制造环境。

  3. 载物台精度:载物台着陆精度为 ±1 微米,确保精确定位以实现一致的测量。

  4. 高压操作:显微镜在高达150kV的加速电压下工作,为更好的成像和分析提供高能量。

  5. 成像和分析:CG 4100 配备先进的电子光学元件和强大的电子枪,可提供出色的图像清晰度和清晰度。它还包括自动对焦和导航系统,以提高易用性和效率。

  6. 软件和自动化:CG 4100 具有智能自动化功能,包括自动机械臂、图像分析软件和可定制的配置,以满足各种用户需求。这样可以快速准确地收集和分析数据。

  7. 模块化设计:模块化设计允许使用不同的探测器和载物台进行可定制的配置,以适应特定应用,例如吸收和发射光谱、高分辨率成像和能量色散光谱。

这些特性使 Hitachi CG 4100 成为各种科学和工业应用中详细 3D 成像和分析的理想选择


产品咨询

留言框

  • 产品:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 省份:

  • 详细地址:

  • 补充说明:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7

全国统一服务电话

0755-82122229

电子邮箱:daruibo@daruibo.com

公司地址:深圳市光明区光明街道碧眼社区华强创意产业园3栋A座

扫码加微信