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详细介绍
型号: SEMVision CX 200
制造商: Applied Materials
应用领域: 半导体制造环境
光学系统: 0.2 NA 光学系统
高分辨率彩色相机
电动龙门
CO2激光准直光学设计
低噪声冷却CCD相机
可调LED光源
多测量模式
改进的性能和产量监控
支持先进集成电路设计的制造
检测微观尺度的缺陷和非均匀区域
自动化掩模书写功能
自动化检查技术
单晶圆检测速度: ≤90 s (在流水线模式下)
单晶圆缺陷吞吐量: ≤500 DPH (可选600 DPH)
单晶圆吞吐量: ≥8 晶圆/小时 (50个缺陷/晶圆)
清洁等级: Class 1 可接受外界条件影响的结霜对机组性能的影响
API参数: +/-1.5um API (Automatic Process Control)
Applied Materials CX 200扫描电子显微镜是一款高性能、高精度的掩模和晶圆检测设备，凭借其先进的光学系统、强大的图像处理能力和高效的自动化功能，能够满足现代半导体生产中对缺陷检测的严格要求。
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