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KLA-Tencor Spectra-Shape 8660 光学计量仪是一种先进的半导体晶圆测试和计量设备,主要用于精确测量半导体晶圆的特征尺寸和形状。该系统采用光学技术,能够对直径达300毫米的晶圆进行高精度的CD(Critical Dimension)测量和形状测量。