KLA-Tencor Surfscan SP2 颗粒检测仪是一款先进的掩模和晶圆检测设备，广泛应用于集成电路(IC)制造过程中的缺陷检测与分类。 该系统采用先进的光学、电学和机械组件，能够检测并纠正各种类型的掩模和晶圆上的缺陷。 Surfscan SP2使用专li技术和高精度成像技术，能够在微观水平上捕捉细节，并与参考模型进行比较，从而实现对掩模和晶片表面制造缺陷的可靠检测和识别

KLA-Tencor SFS6420 颗粒检测仪是一种用于晶圆检测和计量的系统，广泛应用于半导体制造领域。该设备由KLA-Tencor公司生产，具有多种功能和特点。 功能与应用： 表面分析：SFS6420是一种多功能的表面分析工具，能够检测、计数和测量亚微米级颗粒，适用于多晶硅和钨等粗糙表面。 缺陷检测：该系统可以进行高分辨率的缺陷检测，包括掩模对准和覆盖精度的检测。