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KLA-Tencor SFS6420 颗粒检测仪是一种用于晶圆检测和计量的系统,广泛应用于半导体制造领域。该设备由KLA-Tencor公司生产,具有多种功能和特点。 功能与应用: 表面分析:SFS6420是一种多功能的表面分析工具,能够检测、计数和测量亚微米级颗粒,适用于多晶硅和钨等粗糙表面。 缺陷检测:该系统可以进行高分辨率的缺陷检测,包括掩模对准和覆盖精度的检测。