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RUDOLPH S3000A 椭圆偏光仪是一种高性能的椭圆偏光计,广泛应用于半导体行业。以下是其详细规格参数: 波长:该设备配备532nm的激光源。 样品尺寸:适用于12英寸晶圆。 测量功能: 薄膜厚度、折射率、光学常数和材料属性等。 可以进行无损和原位测量,具有出色的重复性、准确性和长期稳定性。