光学计量仪

KLA-Tencor Spectra-Shape 8660 光学计量仪

是一种先进的半导体晶圆测试和计量设备，主要用于精确测量半导体晶圆的特征尺寸和形状。该系统采用光学技术，能够对直径达300毫米的晶圆进行高精度的CD（Critical Dimension）测量和形状测量。

Spectra-Shape 8660 设备具备多种高级功能，包括自动非接触式2D（高度）测量、非接触式计量工具、缺陷审查、自动聚焦、数据管理和灵活的测试协议开发选项。此外，它还提供了一种可靠、可重复且经济高效的方法来确定晶圆的质量。

该系统的用户界面友好，操作简便，支持高分辨率VGA显示，并且具有多探头选择和强大的内部数据处理能力。其设计旨在满足各种晶圆计量需求，提供出色的精度、重复性和吞吐量。

Spectra-Shape 8660 还可以用于监控IC制造过程中关键结构参数，如金属栅凹陷、高k凹陷、侧壁角度、抗蚀层高度和硬掩模高度等。这种多功能性使其成为半导体制造中不ke或缺的工具。

总之，KLA-Tencor Spectra-Shape 8660 是一款顶级的晶圆测试和计量设备，适用于各种复杂的几何特征的精确测量和监控，广泛应用于现代集成电路制造中.