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晶圆检测仪

简要描述:KLA-Tencor Puma 9100 晶圆检测仪是一款先进的半导体晶圆测试和计量设备,广泛应用于生产及研发领域。该设备具有高精度和可重复性的特点,能够提供精确的微观级测量能力。它配备了易于使用的装载端口、机器人和光学检查功能,以及多轴平台,用于实现精确的微米级测量。Puma 9100 还集成了图像传感器和智能系统,以确保光学测量的准确性,并且具备自动化的样品处理能力,可以进行检查区域的成像

  • 产品型号:Puma 9100
  • 厂商性质:经销商
  • 更新日期:2024-09-03
  • 访  问  量:163

详细介绍

KLA-Tencor Puma 9100 晶圆检测仪

是一款先进的半导体晶圆测试和计量设备,广泛应用于生产及研发领域。该设备具有高精度和可重复性的特点,能够提供精确的微观级测量能力。它配备了易于使用的装载端口、机器人和光学检查功能,以及多轴平台,用于实现精确的微米级测量

此外,Puma 9100 还集成了图像传感器和智能系统,以确保光学测量的准确性,并且具备自动化的样品处理能力,可以无限制地进行检查区域的成像。该设备还支持暗场缺陷检测,这使得它在识别电子制造过程中的潜在缺陷方面表现出色

总体而言,KLA-Tencor Puma 9100 是一款多功能且高效的晶圆测试系统,适用于各种半导体制造和研究应用,提供了高度精确的测量能力和灵活的部署方案

Puma 9100概述

自动化晶圆测试和计量设备

设计用于生产、研发应用,提供高精度和重复性

主要功能

高分辨率成像

无限制检查区域

自动化样品处理能力

技术特点

多轴定位精确微米级测量

图像传感器和智能用于准确的光学测量

应用领域

半导体行业设计先进计量和晶圆测试设备

为识别电子制造过程中的潜在缺陷提供高度精确的测量能力


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