晶圆检测仪

KLA-Tencor Puma 9000 晶圆检测仪

是一款先进的晶圆检测和计量设备，广泛应用于半导体制造业。该系统利用KLA-Tencor创新的Streak™暗视野成像技术，成功克服了传统扫描激光与光电倍增管（PMT）式检测系统的限制，从而达到业界领xian的效能。

Puma 9000具备高分辨率成像、高速处理和自动化功能，能够提供精确的测量和用户友好的界面设计。它结合了光学扫描和高速成像技术，并采用固态线性传感器，以确保稳定且可重复的测量结果。此外，该系统还支持多种像素尺寸（如sL10, sL15, sL20, sL40和sL60），并配备Nd:Yag 355nm脉冲入射激光器，使其在缺陷检测方面具有极gao的灵敏度。

Puma 9000不仅适用于质量控制和先进材料结构的精密测量，还能显著提高生产效率和良率。其模块化和可扩展的设计使其能够适应不同的生产需求，并通过长期可靠性保证了系统的稳定运行。

值得注意的是，尽管Puma 9000已经非常成功，但其后续版本Puma 91xx系列在生产能力、灵敏度和易用性方面都有所改进，几乎实现了两倍的生产能力和更高的灵敏度。因此，许多现有的Puma 9000系统可以现场升级到91xx系列的性能水平。

总之，KLA-Tencor Puma 9000是一款功能强大且高效的晶圆检测和计量设备，适用于各种半导体制造过程中的质量控制和材料分析需求。